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半导体制造关键材料——电子特气

作者:重山光电 浏览:33 发表时间:2020-12-23 16:06:49

      随着集成电路制造产业的发展,全球集成电路用电子气体的市场规模也逐渐扩大。电子特气全球市场超过100亿美元、中国市场超过100亿人民币。仅从集成电路用电子气体来看,据中国产业信息网的数据,2018年全球集成电路用电子气体的市场规模达到45.12亿美元,同比增长16%,中国集成电路用电子特气的市场规模约4.89亿美元。


      近年来,随着电子工业的快速发展,电子气在半导体工业中的地位日益突出。在构成半导体的所有材料中,电子气占13.3%,仅次于硅。

广义的“电子气”是指电子工业生产中使用的气体,是最重要的原材料之一。狭义的“电子气”是指电子半导体工业中使用的特殊气体。它可分为纯气体、高纯气体和半导体特殊材料气体。是集成电路、平板显示器、发光二极管、太阳能电池等半导体行业生产制造过程中不可缺少的关键化工材料。广泛应用于清洗、蚀刻、成膜、掺杂等工序。其质量对电子元器件的性能有着重要的影响。

在半导体技术中,从芯片生长到最终器件封装,几乎每一步、每一个环节都离不开电子气,因此电子气被称为半导体材料的“颗粒”。

集成电路制造需要经历硅片制造、氧化、光刻、气相沉积、刻蚀、离子注入等过程。纯气体和混合气体有50多种,每种气体只在特定的工艺步骤中使用。此外,各种特殊气体用于制造显示面板、led、太阳能电池、光纤电缆等器件。

高纯度氟化氢是一种半导体蚀刻气体,此前被日本限制在韩国使用。主要用于晶片表面清洗、芯片加工清洗和腐蚀。

目前,特种气体已成为发展高新技术应用领域和战略性新兴产业不可缺少的基础原料。据不完全统计,特种气体有260多种。随着非低温气体分离技术(吸附和膜分离)、混合技术和净化技术的发展,更多的特种气体产品将逐步进入市场。


     目前,我国已通过国家集成电路产业投资基金(大基金),调动全社会资源对半导体产业进行投资和扶持。积极布局电子气领域,投资电子气企业,努力实现电子气自控。国内其他电子燃气企业则抓住晶圆制造业扩张的百年机遇,积极发展电子燃气业务,力争进入国内新的晶圆厂供应链。

      基于中国大陆半导体、显示面板等主要电子元器件新增产能,以及未来几年电子化工材料进口替代需求旺盛,国内电子燃气行业也将迎来快速增长。


我公司主要经营半导体制成材料(高纯电子特气、电子化学品、氟碳电子清洗剂、纳米氟碳薄膜前驱体等)。并且在产品上取得了突破,实现了稳定的批量供应。

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