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20种电子特气入选工信部重点新材料应用示范指导目录(2019版)
作者:小编 日期:2020-01-10 10:17:53 点击数:

  为进一步做好重点新材料首批次应用保险补偿试点工作,工业和信息化部12月2日公布了《重点新材料首批次应用示范指导目录(2019年版)》,自2020年1月1日起施行。《重点新材料首批次应用示范指导目录(2018年版)》(工信部原〔2018〕262号)同时废止。

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  本次版本的特种气体在电子化工新材料项目范畴,涉及气体种类高达20种。相较于2018版,本次新增加的电子特气是超高纯氙气和5种超高纯电子混合气体:超高纯锗烷混氢(GeH4/H)、超高纯锗烷混氢(GeH4/H2)、超高纯乙硼烷混氢(B2H6/H2)、超高纯乙硼烷混氮气、超高纯磷烷混氢气(PH3/H2)。

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  此次公布的重点新材料包括20种特种气体:高纯氯气、三氯氢硅、锗烷、HCL、N2O、COS、B2H6、AsH3、PH3、SiH4、二氯二氢硅、高纯三氯化硼、六氯乙硅烷、四氯化硅、超高纯氙气、超高纯锗烷混氢(GeH4/H)、超高纯锗烷混氢(GeH4/H2)、超高纯乙硼烷混氢(B2H6/H2)、超高纯乙硼烷混氮气、超高纯磷烷混氢气(PH3/H2)。



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