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二氟化氙XeF2 CAS:13709-61-0 氟化试剂 蚀刻气体材料
二氟化氙XeF2 CAS:13709-61-0 氟化试剂 蚀刻气体材料


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二氟化氙CAS:13709-61-0 氟化试剂 蚀刻气体材料

 

二氟化氙是一种选择性很好的氟化剂,在无机氟化物制备及有机合成中有广泛的应用,但其只有在气相和非水溶液中才具有氟化性质,在水溶液中只能起氧化剂的作用。此外,在电子工业中,XeF2常被用作硅的蚀刻气体。

 

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  二氟化氙(XeF2),又称二氟代氙,分子量为169.30,是一种无色固体,在室温下容易升华而形成透明晶体。二氟化氙在中性或碱性溶液中分解,在酸性溶液中较为稳定,水溶液有刺激气味。二氟化氙蒸汽是无色的,具有令人发呕的恶臭。在电子工业中,XeF2常被用作硅的蚀刻气体,由于XeF2和硅的化学反应是自发反应,XeF2对硅的腐蚀工艺具有非常高的选择性,在XeF2对硅进行腐蚀过程中,XeF2气体通过自由扩散到硅衬底表面,并与最外层硅原子发生化学反应生成气态Xe和气态SiF4,从而实现对硅的腐蚀。

 

产品指标

二氟化氙XeF2 CAS:13709-61-0 氟化试剂 蚀刻气体材料(图2)

 

包装、贮藏

      二氟化氙是一个稳定的化合物,可长期储放于镍制容器或铝合金无缝钢瓶内,包装规格有100g、500g、1kg、2kg和5kg规格,以满足科研院所及生产型企业的不同要求。具体包装规格可根据用户需求定制更改。

     二氟化氙储存于阴凉、通风的库房,应与氧化剂、食用化学品、碱金属分开存放,远离火种、热源。

 


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