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高纯四氟化碳 CAS#: 75-73-0
高纯四氟化碳 CAS#: 75-73-0


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高纯四氟化碳 CAS#: 75-73-0

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高纯四氟化碳 CAS#: 75-73-0 (图1)

四氟化碳 CAS#: 75-73-0

四氟化碳(CF4),又称四氟甲烷,相对分子量为88,熔点为-183.6℃,沸点为-127.8℃,是一种无色无味的不可燃气体。常温下,四氟化碳属于易压缩性气体,挥发性较高,是最稳定的有机化合物之一,不易溶于水。四氟化碳与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物。四氟化碳在微电子工业等领域具有重要的应用,作为蚀刻二氧化硅和氮化硅的介质材料已成熟运用多年,也是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体。

产品指标

高纯四氟化碳 CAS#: 75-73-0 (图2)

产品用途:

四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,与高纯氮气的混合体可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。此外,四氟化碳在低温下可作为低温流体应用,在制冷、气体绝缘、氟化剂、表面处理剂和激光气体泄漏检验剂领域中有一定的应用空间。        

包装、贮存:

四氟化碳充装在钢质无缝气瓶中,钢瓶容积分别为8 L、44 L、47 L,具体包装规格可根据用户需求定制更改。四氟化碳储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房中,远离火种、热源,库温不宜超过30℃。应与易(可)燃物、氧化剂分开存放,切忌混储。存应备有泄漏应急处理设备。


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