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六氟化硫 CAS#: 2551-62-4
六氟化硫 CAS#: 2551-62-4


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六氟化硫 CAS#: 2551-62-4

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六氟化硫 CAS#: 2551-62-4(图1)

六氟化硫 CAS#: 2551-62-4

六氟化硫是一种无色、无臭、无毒、不燃的惰性气体,分子量为146.07,熔点为-51℃,沸点为-64℃。六氟化硫分子结构呈八面体排布,键合距离小、键合能高,因此其稳定性很高。电子级高纯六氟化硫是一种理想的蚀刻剂,可用六氟化硫蚀刻硅表面并去除半导体材料上的有机或无机膜状物,并可在光导纤维的制造过程中,作为掺杂剂使用。

产品指标

六氟化硫 CAS#: 2551-62-4(图2)

产品用途:

电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂,广泛应用于微电子技术领域,用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。在光纤制备中六氟化硫用作生产掺氟玻璃的氟源。此外,六氟化硫还可作为绝缘气体、示踪剂、冷冻剂使用。        

包装、贮存:

六氟化硫充装在钢质无缝气瓶中,钢瓶一般容积为40L。具体包装规格可根据用户要求定制更改。六氟化硫储存于阴凉、通风的库房,远离火种、热源,库温不宜超过30℃,应与易(可)燃物、氧化剂分开存放,切忌混储,储区应备有泄漏应急处理设备。


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