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高纯四氟化硅 CAS#: 7783-61-1
高纯四氟化硅 CAS#: 7783-61-1


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高纯四氟化硅 CAS#: 7783-61-1

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高纯四氟化硅 CAS#: 7783-61-1(图1)

高纯四氟化硅 CAS#: 7783-61-1

四氟化硅(SiF4),又称氟化硅,分子式为SiF4,分子量为104.06,是一种无色、有毒、有刺激性臭味的气体。四氟化硅易潮解,在潮湿空气中可产生浓烟雾。四氟化硅溶于乙醇、醚、硝酸、氢氟酸,吸湿性非常强,加压下变成液体,在电子行业中,四氟化硅有着广泛的应用。

产品指标

高纯四氟化硅 CAS#: 7783-61-1(图2)

产品用途:

四氟化硅在电子行业中主要用作氮化硅、硅化钽等的P型掺杂剂、蚀刻剂及外延沉积扩散硅源等,还可用于制备电子级硅烷或硅。此外,四氟化硅可用于制备太阳能电池、氟硅酸和氟化硅、水泥和人造大理石的硬化剂。    

包装、贮存:

四氟化硅充装在钢质无缝气瓶中,钢瓶容积分别为8 L、44 L、47 L。具体包装规格可根据用户需求定制更改。四氟化硅储存于阴凉、干燥、通风良好的库房中,远离火种、热源。库温不宜超过30℃,储区应备有泄漏应急处理设备。


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