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五氟化钽
五氟化钽


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五氟化钽

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五氟化钽(图1)

五氟化钽(TaF5),相对分子量为276,熔点为96.8℃,沸点为229.5℃,是一种白色结晶,折光能力强。五氟化钽微溶于热的二硫化碳和四氯化碳溶液中,溶于水和乙醚、氢氟酸、硝酸、发烟硝酸,在空气中吸湿而不水解。高纯五氟化钽在微电子工业中用作化学气相淀积硅化钽或钽膜,制作低电阻、高熔点的电路互连线和栅极。五氟化钽在电子元器件表面、半导体器件表面、钛及金属氮化物电极表面、金属钨表面上,可形成附着力极强、厚度为0.1μm级的绝缘薄膜,具有高的介电率。

产品指标

五氟化钽(图2)

产品用途:

五氟化钽在电子工业中用作化学气相淀积硅化钽或钽膜,制作低电阻、高熔点的电路互连线和栅极。        

包装、贮存:

五氟化钽储存于4.64L、10.2L、44L钢瓶中,具体包装规格可根据用户需求定制更改。五氟化钽贮存于阴凉、干燥的库房中,确保有良好的通风。


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