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三氟化氯
三氟化氯


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三氟化氯

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三氟化氯(图1)

三氟化氯(ClF3),相对分子量为92.45,是一种腐蚀性、无色有甜味的气体,降温变为绿色液体,即使在低浓度时也有高度刺激性,具有强氧化性。在高温时,三氟化氯能够点燃许多有机化合物和许多金属,遇水产生猛烈反应,水解产生有毒物质。在半导体工业中,三氟化氯用于清洗化学气相沉积腔室,它可以用于从室壁去除半导体材料,而不必拆卸腔室,不需要使用等离子体的激活,腔室的热量足以使其分解并与半导体材料反应。

产品指标

三氟化氯(图2)


产品用途:

在半导体工业中,三氟化氯可用于清洗化学气相沉积腔室。此外,三氟化氯还可用作氟化剂、燃烧剂、推进剂中的氧化剂、高温金属的切割油等。        

包装、贮存:

三氟化氯储存于标准无缝钢瓶中,包装规格有500g,1kg,2kg。具体包装规格可根据用户要求定制更改。三氟化氯储存于阴凉


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